ÀúÈñ ¢ß·¡µð¾ðÅ×Å©´Â ÇöóÁ Àü¹®
Maker·Î, ¹ÝµµÃ¼ Dry Etch °øÁ¤¿ë Àåºñ¿Í ÃÖ±Ù¿¡ ÁÖ¸ñµÇ°í ÀÖ´ÂAP Plasma(´ë±â¾Ð
¶Ç´Â »ó¾ÐÇöóÁ)¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ Ç¥¸é¼¼Á¤, »ì±Õ, °³Áú µîÀ» À§ÇÑ ModuleÀ» »ý»ê, °ø±ÞÇÏ°í ´õºÒ¾î ÇöóÁ ¹ß»ýÀåÄ¡ÀÎ RF module
¿¡ ´ëÇÏ¿© ÀϺ» PEARL»ç
Á¦Ç°À» ±¹³» ÆÇ¸Å ¹× ±â¼ú¼ºñ½º¸¦ Á¦°øÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ, Àü±âÀüÀÚ »ê¾÷ÀÇ Àü·Â¼±Åë½Å(PLC)¸ðµâ°ú ÇÚÁîÇÁ¸® ¸ðµâÀ» ¼¼°è½ÃÀå¿¡ °ø±ÞÇϰí
ÀÖ½À´Ï´Ù.